各行業(yè)中無塵車間的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)

無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度、噪聲、照明及靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計(jì)的空間。

無塵車間對(duì)于溫濕度的控制主要取決于其生產(chǎn)工藝。但在滿足加工工藝的條件下，還應(yīng)考慮到車間內(nèi)人的舒適感。因?yàn)槿顺龊挂院螅?/span>會(huì)對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生污染。那么，各行業(yè)中無塵車間的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)到底有什么不同呢？

一、精密機(jī)械加工業(yè)

在精密機(jī)械加工和計(jì)量等場(chǎng)合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，應(yīng)保持工作環(huán)境溫度的均一性。工件溫度的允許波動(dòng)幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。例如，在恒溫室里對(duì)一根長(zhǎng)500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中l(wèi)um為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測(cè)誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數(shù)，取10／um／(m?K)；l為尺長(zhǎng)，m]，故工件溫度變化需在： 以內(nèi)。但由于工件測(cè)量?jī)x器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動(dòng)傳人工件后，就要衰減。在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù)，故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí)，須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。

二、電子制造業(yè)

在電子行業(yè)制造車間是zui重要產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事故，所以電子行業(yè)的無塵車間相對(duì)濕度不應(yīng)低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無塵車間的防靜電區(qū)域相對(duì)濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚(yáng)，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對(duì)濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

三、生物制藥業(yè)

在生物制藥的無塵車間中對(duì)易吸潮藥品的相對(duì)濕度要求45％～50％RH(夏季)，片劑等固體制劑50％～55％RH，水針及口服液55％～65％RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產(chǎn)質(zhì)量。

四、集成電路生產(chǎn)加工行業(yè)

在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

五、食品生產(chǎn)業(yè)

食品，保健品，飲料等車間對(duì)對(duì)生產(chǎn)潔凈度要求是比較高的，通常為10萬級(jí)至萬級(jí)以上，但同時(shí)車間的濕度越低越容易滋生細(xì)菌，細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至zui低。

為了便于測(cè)試不同行業(yè)中無塵車間的溫濕度，我公司（宏瑞科技）自主研發(fā)生產(chǎn)了TH-40型數(shù)字式溫濕度儀。該儀器選用美國MEAS的傳感器，以數(shù)字形式顯示無塵室內(nèi)的溫濕度，測(cè)試精度高、測(cè)試準(zhǔn)確，可廣泛應(yīng)用于電子、制藥、生物技術(shù)、航空航天等生產(chǎn)、科研部門，是制藥企業(yè)和質(zhì)量監(jiān)督部門貫徹GMP規(guī)范加強(qiáng)生產(chǎn)環(huán)境管理的理想儀器。